奈米無塵洗淨技術
以晶圓洗淨技術清洗無塵衣:自RCA SC1標準洗淨法發想
半導體製造過程中,有塵粒附著在晶圓上時,會造成局部缺陷(pattern defect)。
RCA SC 1 (NH4OH+H2O2+DIW)為廣泛應用於晶圓洗淨的技術。
尚磊科技獨創奈米無塵洗淨技術ULTRACLEAN
尚磊科技深耕無塵洗衣技術二十餘年,將SC1中的氨水(NH4OH),以奈米氫氧根負離子水取代,結合自行研發的洗淨程式與藥劑配方,獨創ULTRACLEAN奈米無塵洗淨技術。
經實證,ULTRACLEAN奈米無塵洗淨技術相較傳統無塵洗衣,能有效減少無塵衣洗後一半以上的發塵量。
本公司於龍潭廠區設有Class 1潔淨等級無塵室,引進全球最新無塵衣物清洗設備。廠內設施係專為超潔淨洗衣品質作業所規劃,清洗過程均在Class 1高淨度無塵室內。洗淨用水採用純度高達18 Mega Ohm之超純水,清洗後衣物仍於無塵室中,以超高過濾效率之烘乾設備烘乾,經折疊、真空防塵包裝後,送達客戶手中。從Class 1無塵室、無塵洗衣、烘乾設備、超純水供應系統及真空包裝等全系列洗淨設備,均可確保超潔淨之洗條品質。
洗滌後的廢水經過沈澱與生物分解及過濾處理後才放流出廠區,並定期檢測,確保符合環保法規放流水標準,克盡對環境保護的責任。
設備與環境
採用最先進之隔離式洗衣設備,以避免交叉污染。洗淨用水採用高純度之18 Mega Ohm超純水洗淨衣物,再以超高過濾效率之烘乾機烘乾,全程均在Class 1無塵室中進行。
流程管制
回廠之客戶衣物首先被送到分類區,進行污損檢驗及修補,極度髒污之衣物將先進行前處理去除污漬。清洗前後完全隔離,清洗並烘乾後再將衣帽配對、褶疊,以真空防塵包裝後送出無塵室,送達客戶手中,確保超潔淨之洗滌品質。
品質與服務
每件無塵衣物可依客戶需求製作名牌或加燙貼電腦條碼,所有無塵衣尺寸、數量及清洗記錄皆納入電腦管理。每批衣物清洗完成後,皆採樣以儀器測試通過後,真空密封包裝。確實進廠檢驗及破損修護服務,提升無塵衣使用年限。全程嚴密監控,確保交貨品質及時程。
服務對象
半導體、光電、生化科技、精密工業、學術研究單位及各類需要無塵環境作業之衣物。
Class1無塵室 Barcode電腦管理系統 微粒子檢驗設備
名牌製做 超純水供應系統 廢污水處理系統